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真空式等離子表面清洗機

首頁>等離子清洗設備

中型真空等離子清洗機

產品簡介

清洗介質為氣體,主要有:氮氣(N2),氬氣(Ar),氫氣(H2),氟化氮(NF3),四氟化碳(CF4),壓縮空氣等···;使用成本低,環保無污染,清洗過程只需幾分鐘完成,具有高效的特點:

產品詳情

1、中型真空等離子清洗機優點
清洗介質為氣體,主要有:氮氣(N2),氬氣(Ar),氫氣(H2),氟化氮(NF3),四氟化碳(CF4),壓縮空氣等···;使用成本低,環保無污染,清洗過程只需幾分鐘完成,具有高效的特點。

2、產品技術參數

型號

HZ-30L

HZ-60L

HZ-80L

外形尺寸

800*600*1800 MM

800*600*1800 MM

650*520*500

腔體容量

30L

5L

10L

腔體尺寸

300*300*350 MM  

350*450*400 MM

400*450*450 MM

腔體材質

316 不銹鋼

等離子發生器

13.56MHZ匹配一體

0-500W可調

13.56MHZ匹配一體

0-500W可調

13.56MHZ匹配一體

0-600W可調

過程控制

全自動控制,手動PLC人機界面

氣路控制

高精密浮子流量計(可控兩路氣體)

真空系統

BSV30(10L/S)

BSV40(13L/S)

BSV60(20L/S)

壓力控制

PID閉環自動穩壓控制,壓力傳感,壓力檢測

真空度

10-30Pa

清洗時間

1-6000秒可調

腔體工作溫度

小于35℃

供電電壓

380V AC

工作電流

整機不大于10A (不含真空泵)

電極層數

3層

5層

5層

說明:腔體尺寸可定制,參數可根據客戶要求制定

3、產品價格
3000元起



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