真空速度是決定真空等離子清洗機的工作效率的重要因素之一。真空速度的快速速度主要取決于真空泵。當所需處理產品的尺寸較大時，須使用大腔體(80L以上)的真空常壓等離子表面處理機時，如果只使用真空泵，則真空速度會相對慢，真空所需的時間會很長。因此，我們通常會配備真空泵組來提高抽真空的速度。大腔體真空常壓等離子表面處理機。今天，我們將介紹常壓等離子表面處理機上使用的幾種真空泵組以及選擇真空泵組時的方法。

真空泵組將兩臺或兩臺以上的真空泵組合在一起，形成串聯結構，可以大大加快真空抽真空的速度。真空等離子清洗機中使用的真空泵組一般分為三類。一種是旋式真空泵+羅茨泵;一種是干式真空泵+羅茨泵;另一種是機械泵和分子泵。

1.旋式真空泵+羅茨泵

旋式真空泵和羅茨泵組成的泵組也可以稱為油泵組。該泵組是我們真空常壓等離子表面處理機中常見的泵組。它由旋式真空泵作為底泵，并由羅茨泵作為次級泵組成。這種泵組通常用于對清潔度的要求不高且腔體較大的真空常壓等離子表面處理機。旋式真空泵和羅茨泵作為真空常壓等離子表面處理機中常見的泵組，具有許多優點：首先，它可以大大增加抽速并減少抽真空的時間;其次，結構更簡單，維護方便;第三，價格相對較高，具有價格優勢。

2.干螺桿真空泵+羅茨泵

干式螺桿真空泵和羅茨泵組合成干式泵組。該泵組是將干式螺桿真空泵作為底泵，羅茨泵作為次級泵組合的泵組。由于它們都是由干式真空泵組成的，因此不會有油污染，清潔度高于油泵組。干式泵組通常用于生物醫學領域，半導體領域和航空航天領域等清潔度要求較高的行業。

作為性能優越的泵組，干式泵組具有許多優點：一，清潔度高，避免油污染;二，抽真空速度快，提高工作效率;三，工作時性能穩定，聲音低;四，對工作環境的要求低，可以應對各種惡劣的工作環境。

3.機械泵+分子泵

機械泵和分子泵組成了特殊的泵組-分子泵組。使用分子泵組可以形成清潔的超高真空環境，因此分子泵組通常使用在對真空環境要求高的設備，例如鍍膜機和刻蝕機。分子泵組如此強大，其優點是什么?它的優勢是什么?首先，分子泵組非常快，抽速非常快。其次，分子泵組不使用石油，不會產生油污染。第三，維護簡單。